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微纳制造工艺平台--测试加工实际收费标准

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更多发布于：2016-10-28 14:37


No.	设备名称	收费标准			备注
		收费标准			备注
		实验室内部（￥/时）	校内（￥/时）	校外（￥/时）	老标准
		实验室内部（￥/时）	校内（￥/时）	校外（￥/时）	老标准
1	EBL		1000	1400	老标准
2	AsP基MOCVD		800	1200	老标准
3	GaN基MOCVD		800	1200	老标准
4	LPCVD		1067	1381	新标准
5	化合物ICP		649	841	新标准
6	硅ICP		662	857	新标准
7	PECVD		500	647	新设定
8	电子束蒸发		300	388	新标准
9	MJB4光刻机	200	400	600	老标准
10	MA6光刻机	200	400	600	老标准
11	匀胶机	200	400	600	新设定
12	纳米压印		400	600	老标准
13	磁控溅射（旧）		200	400	老标准
14	磁控溅射镀膜机（新）		400	600	新设定
15	快速退火炉		100	130	新标准
16	RIE（国产）		200	400	老标准
17	等离子去胶机		118	153	新标准
18	等离子清洗机（国产）		150	210	老标准（去胶机）
19	双管合金炉		300	400	老标准
20	清洗间		60	100	老标准
21	霍尔效应测试仪		234	303	新标准
22	扫描探针显微镜		233	302	新标准
23	光谱椭偏仪		211	273	新标准
24	电化学剖析仪		178	230	新标准
25	激光器测试仪		130	169	新标准
26	光学轮廓仪		123	159	新标准
27	探针式表面台阶仪		200	250	老标准
28	荧光光谱测试仪		300	400	老标准
29	X射线衍射仪		376	486	新标准
30	百级间	60	80	100	新设定

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