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微纳制造工艺平台--测试加工实际收费标准
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微纳制造工艺平台--测试加工实际收费标准
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发布于:2016-10-28 14:37
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设备名称
收费标准
备 注
实验室内部(¥/时)
校内(¥/时)
校外(¥/时)
老标准
1
EBL
1000
1400
老标准
2
AsP基MOCVD
800
1200
老标准
3
GaN基MOCVD
800
1200
老标准
4
LPCVD
1067
1381
新标准
5
化合物ICP
649
841
新标准
6
硅ICP
662
857
新标准
7
PECVD
500
647
新设定
8
电子束蒸发
300
388
新标准
9
MJB4光刻机
200
400
600
老标准
10
MA6光刻机
200
400
600
老标准
11
匀胶机
200
400
600
新设定
12
纳米压印
400
600
老标准
13
磁控溅射(旧)
200
400
老标准
14
磁控溅射镀膜机(新)
400
600
新设定
15
快速退火炉
100
130
新标准
16
RIE(国产)
200
400
老标准
17
等离子去胶机
118
153
新标准
18
等离子清洗机(国产)
150
210
老标准(去胶机)
19
双管合金炉
300
400
老标准
20
清洗间
60
100
老标准
21
霍尔效应测试仪
234
303
新标准
22
扫描探针显微镜
233
302
新标准
23
光谱椭偏仪
211
273
新标准
24
电化学剖析仪
178
230
新标准
25
激光器测试仪
130
169
新标准
26
光学轮廓仪
123
159
新标准
27
探针式表面台阶仪
200
250
老标准
28
荧光光谱测试仪
300
400
老标准
29
X射线衍射仪
376
486
新标准
30
百级间
60
80
100
新设定
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