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微纳制造工艺平台--测试加工实际收费标准

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更多 发布于:2016-10-28 14:37

No. 设备名称 收费标准 备 注
实验室内部(¥/时) 校内(¥/时) 校外(¥/时) 老标准
1 EBL 1000 1400 老标准
2 AsP基MOCVD 800 1200 老标准
3 GaN基MOCVD 800 1200 老标准
4 LPCVD 1067 1381 新标准
5 化合物ICP 649 841 新标准
6 硅ICP 662 857 新标准
7 PECVD 500 647 新设定
8 电子束蒸发 300 388 新标准
9 MJB4光刻机 200 400 600 老标准
10 MA6光刻机 200 400 600 老标准
11 匀胶机 200 400 600 新设定
12 纳米压印 400 600 老标准
13 磁控溅射(旧) 200 400 老标准
14 磁控溅射镀膜机(新) 400 600 新设定
15 快速退火炉 100 130 新标准
16 RIE(国产) 200 400 老标准
17 等离子去胶机 118 153 新标准
18 等离子清洗机(国产) 150 210 老标准(去胶机)
19 双管合金炉 300 400 老标准
20 清洗间 60 100 老标准
21 霍尔效应测试仪 234 303 新标准
22 扫描探针显微镜 233 302 新标准
23 光谱椭偏仪 211 273 新标准
24 电化学剖析仪 178 230 新标准
25 激光器测试仪 130 169 新标准
26 光学轮廓仪 123 159 新标准
27 探针式表面台阶仪 200 250 老标准
28 荧光光谱测试仪 300 400 老标准
29 X射线衍射仪 376 486 新标准
30 百级间 60 80 100 新设定
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